Talyrond 585/595系列的所有軸都經過精密加工,加強了軟件自動更正功能,擁有了最高精度的直線度和圓度精確度。調心和調平操作台配有高分辨率電機,進一步加強了精度和全自動設置目標功能。

 

該系統配有的Talymin 5傳感器測量能力能夠達到奈米級別,同時自動橫臂機制能夠提供無以倫比的多功能化確保能夠測量最難以達到的部分。TR595H配置的主動抗振控制托架確保了不受外界環境影響的測量環境,保證測量環境接近生產過程。

 

全自動軸臂橫向和縱向機制

軸臂、立柱和主軸校准自動校准

自動傳感器校准

高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um

傳感器分辨率0.3 nm

主動隔震和環境隔離系統

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