V構基板・ファイバアレイ検査装置

(YGN-590-FAVG)

測定對象                 ・Fiber Array

                               ・V溝基板

                                                            

反覆量測精度          3σ≦0.1μm

 

量測時間                 1~2sec  /  1芯.1溝

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