產品說明
LuphoScan 850 HD 是繼LuphoScan 260/420 HD後新推出的革新測量技術，為世界上功能最齊全的非接觸式3D表面精密檢測儀，適用於大口徑的精加工光學工件的檢測，以及對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉對稱表面（光學器件）進行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。主要優點除了量測速度快，對一些特殊的表面形狀（如平頂或帶有拐點的輪廓）具有極高的靈活性外，透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面等材料幾乎都能測量。此設備的最佳優勢
- 高度靈活性 - 測量口徑範圍可從5 mm ~ 850 mm，測量高度範圍到210 mm
- 高負載 - ≤ 350 kg
- 高度精確 – 可精確測量面形誤差且具備高度可重複性，面形誤差精度可高達 < λ/20 (PV99) 和 ≥5 nm RMS*
- 高密度測量點 - 測量點數高達 600 萬，以用於精確測量和分析大口徑的中頻面形誤差
- 自由曲面的檢測 - 對回轉非對稱面可測量整個園周的最大斜度變化到±8° (徑向斜度到90°)
